日企攻坚EUV光刻！砸90亿力夺半导体设备高地

工控网 2020年7月14日

摘要:　　要想制造5nm及更先进芯片，离不开EUV(极紫外光)光刻技术，目前多家日本芯片设备制造商正积极争夺EUV适用的制造设备市场份额。　　2020财年，全球第三大半导体设备制造商东京电子(Tokyo ...

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