SoLayTec旗下InPassion ALD系统可在批量生产中实现超级氧化铝沉积
pv-tech 2020年8月11日
摘要:SoLayTec公司日前为批量生产中的氧化铝沉积推出新款InPassion原子层沉积(ALD)设备。氧化铝是光伏产业内广为人知的具有高效表面沉积特性和固定负电荷密度产品，并多用于超薄硅片的制造。InP...
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