2020年半导体清洁设备行业现状与发展趋势分析

工控网 2020年9月29日

摘要:　　清洗步骤贯穿半导体全产业链　　半导体清洗设备直接影响集成电路的成品率，是贯穿半导体产业链的重要环节，在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节，约占所有芯片制造工序步骤...

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